設備名稱Equipment

特性量測探針平台

型號 type

CASCADE M150

性能說明
     Cascade Microtech 的M150 測量平台可測量半導體晶圓、IC、PCB、MEMS、生物學設備,可以讓使用者在數分鐘內完成設備之間的切換。可互換的標準零件使這種 150mm 測量設備可由客戶來配置,從而使該平台能處理包括功耗、工作頻率、信號隔離、信號完整性、通道頻寬在內的各種問題。該平台與該廠商的L系列微流體學度量衡系統和所有L系列生命科學應用相容。

規格

  • 4具低漏電探針座(Cascade DCM210)
  • 6吋可變溫氣浮式平台

購置日期/購置經費/補助計畫

96學年度/93萬/SOC學程計畫

圖片

儀器